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千級觸控與指紋識別芯片半導體潔凈室裝修設計

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千級觸控與指紋識別芯片半導體潔凈室裝修設計.得創(chuàng)凈化工程專業(yè)從事芯片潔凈室工程規(guī)劃,設計,施工一條路凈化工程公司,歡迎來電咨詢:027-82289886
以芯片生產(chǎn)車間、集成電路潔凈室和磁盤制造車間為代表的電子工業(yè)工程潔凈室(區(qū))除了對微粒的嚴格控制外,還對溫濕度的控制、照度(甚至光源要求)微震等要求更嚴格,消除靜電對生產(chǎn)產(chǎn)品的影響,從而使環(huán)境達到電子產(chǎn)品在潔凈環(huán)境的生產(chǎn)工藝要求。

千級芯片潔凈室標準

潔凈室標準
1.潔凈室必須保持一定的相對正壓,不同等級的潔凈車間之間的壓力不得小于5Pa,清潔車間與非清潔車間之間的壓力不小于10Pa,為了防止低級潔凈車間的空氣流回高級潔凈車間,溫度應保持在18至26攝氏度。
2、最大允許塵粒數(shù),大或等于0.5微米的粒子數(shù)量不得超過1050000,5微米的粒子數(shù)量不得超過60000,最大允許的微生物數(shù)量不得超過每立方米1000。

芯片潔凈室標準 芯片潔凈室標準
   

千級芯片潔凈室選址要求及總體設計

潔凈室選址要求及總體設計  
1.應在大氣粉塵濃度較低、自然環(huán)境較好的地區(qū);  
2.遠離鐵路、碼頭、機場、交通干線、工廠、倉庫、堆場等空氣污染、振動或噪聲干擾嚴重的區(qū)域,排放大量粉塵和有害氣體。如果不能遠離嚴重的空氣污染源,應位于其最大頻率風向上風側,或全年最小頻率風向下風側;  
3.應布置在環(huán)境潔凈、人流不穿越或少穿越的廠區(qū)。  
4.對于具有微振動控制要求的凈化項目的位置選擇,應實際測量周圍現(xiàn)有振動源的振動影響,并分析比較精密設備和精密儀器的允許環(huán)境振動值。  
5.潔凈室與交通干道之間的距離不宜小于50米。  
6.潔凈室周圍應設置環(huán)形消防車道(可使用交通道路),如有困難,可沿廠房兩條長邊設置消防車道。  
7.潔凈室周圍的路面應選用整體性好、灰塵少的材料。  
8.潔凈室周圍應進行綠化。草坪可以鋪設,樹木可以種植,對大氣中的粉塵和農(nóng)業(yè)沒有有害影響,可以形成綠色社區(qū)。但是,不應妨礙消防操作。

芯片潔凈室設計 芯片潔凈室設計
   

千級芯片潔凈室工藝管道設計專要求

潔凈室工藝管道設計專要求  
對于空氣潔凈度有要求的區(qū)域,工藝管道的主管應敷設在技術夾層和技術夾層中。需要拆卸、清洗和消毒的管道應使用,易燃、易爆和有毒材料的管道也應使用。如果敷設在技術夾層和技術夾層中,應采取相應的通風措施。  
干管系統(tǒng)應設置必要的吹掃口,放凈口和取樣口。  
潔凈管材應采用低碳優(yōu)質不銹鋼或其它無污染材料。  
工藝管道上的閥門、管件材料應與管道材料相適應。  
除滿足工藝要求外,潔凈室內(nèi)使用的閥門、管件應采用拆卸、清洗、檢修等結構形式。  
管道和設備應采用金屬管連接,如果需要軟管,應采用可靠的柔性接管。  
應焊接技術夾層和技術夾道中的干管連接。  
法蘭、螺紋或其他密封性能優(yōu)異的連接件應用于管道與閥門的連接。與材料接觸的法蘭和螺紋應用聚四氟乙烯密封。套管穿過潔凈室的墻壁、地板和天花板,套管內(nèi)的管段不得有焊縫、螺紋或法蘭。管道與套管之間應采取可靠的密封措施。  
潔凈室內(nèi)敷設管道較少,引入潔凈室的支管應暗敷。  
潔凈室內(nèi)的管道應排列整齊,盡量減少閥門、管件和管道支架。  
潔凈室內(nèi)的管道應根據(jù)其表面溫度、熱量或吸熱量以及環(huán)境的溫度和濕度來確定。冷絕緣管道的外壁溫度不得低于環(huán)境的露點溫度。  
管道保溫層表面必須平整、光滑,不得有顆粒物質脫落,并應采用金屬外殼進行保護。  
潔凈室內(nèi)管道外壁應采取防銹措施。潔凈室內(nèi)的各種管道都設有標明介質及其流動方向的標志。

芯片潔凈室設計 芯片潔凈室設計
   

千級芯片潔凈室空調(diào)系統(tǒng)的設計

1、凈化空調(diào)系統(tǒng)所控制的參數(shù)除一般空調(diào)系統(tǒng)的室內(nèi)溫、濕度之外,還要控制房間的潔凈度和壓力等參數(shù),并且溫度、濕度的控制精度較高,有的潔凈室要求溫度控制在±0.1℃范圍內(nèi)等?!?br /> 2、凈化空調(diào)系統(tǒng)的空氣處理過程除熱、濕處理外,必須對空氣進簽訂初效濾、中間中效過濾、末端高效過濾等,高級別的潔凈室為了有效、節(jié)能地對送入潔凈室的空氣進行處理,采用集中新風處理,僅新風處理系統(tǒng)便設有多級過濾,需要嚴格需去除空氣中污染物分子時,還應設置各類化學過濾器?!?br /> 3、潔凈室的氣流分布、氣流組織方面,要盡量限制和減少塵粒的擴散,減少二次氣流和渦流,使?jié)崈舻臍饬鞑皇芪廴?,以最短的距離直接送到工作區(qū)?!?br /> 4、為確保潔凈室不受室外污染或鄰室的污染,潔凈室與室外或鄰室必須維持一定的壓差(正壓或負壓),最小壓差在5Pa以上,這就要求一定的正壓風量或一定的排風風量?!?br /> 5、凈化空調(diào)系統(tǒng)的風量較大(換氣次數(shù)一般10次至數(shù)百次),相應的能耗就大,系統(tǒng)造價也就高?!?br /> 6、凈化空調(diào)系統(tǒng)的空氣處理設備、風管材質和密封材料根據(jù)空氣潔凈度等級的不同都有一定的要求;風管制作和安裝后都必須嚴格按規(guī)定進行清洗、擦拭和密封處理等?!?br /> 7凈化空調(diào)系統(tǒng)安裝后應按規(guī)定進行調(diào)試和綜合性能檢測,達到所要求的空氣潔凈度等級;對系統(tǒng)中的高效過濾器及其安裝質量均應按規(guī)定進行檢漏等。

芯片潔凈室設計 芯片潔凈室設計
   

千級芯片潔凈室通風風管及附件的清洗標準

通風風管及附件的清洗標準 
凈化空調(diào)系統(tǒng)工程在施工過程中的風管清洗是該系統(tǒng)施工全過程中的重要工序,做好風管的清洗,不僅可以控制該系統(tǒng)的潔凈度,同時還保證高效過濾器的使用壽命,系統(tǒng)運行的潔凈度?!?br /> 1清洗用材料 
(1)潔凈空調(diào)風管清洗工作所使用的清洗劑、溶劑和抹布應符合潔凈室的相關要求?!?br /> (2)凡用自來水清洗風管及零件外表面時,應保持水質潔凈無雜質、泥沙?!?br /> 2對清洗用具的要求 
(1)凡清洗風管用的機具設備應專管專用,不得混作他用,更不得使用清洗風管的容器盛裝其他溶劑、油類及污水,并應保持容器的潔凈干凈?!?br /> (2)在清洗過程中使用的任保物質不得對人體和材質有危害,并應保證不帶塵不產(chǎn)塵(如掉渣、掉毛、使用后產(chǎn)生殘跡等)?!?br /> 3作業(yè)條件 
(1)清洗場地要要求封閉隔離,無塵土。清洗場地地面應鋪設干凈不產(chǎn)塵的地面保護材料(如橡膠板、塑料板等),每天至少清掃擦拭2~3次,保持場內(nèi)干凈無塵?!?br /> (2)清洗場地應建立完善的衛(wèi)生及管理制度,對進出人員及機具、材料、零部件進行檢查,符合潔凈要求方可攜帶入內(nèi)。 
(3)清洗、漏光檢驗場地可使用廠房進行間壁隔離設置,但應符合潔凈無塵源的要求和漏光檢驗時遮光的要求,并便于管理和成品的運輸?!?br /> (4)清洗場地應配備良好的通風設施,保持良好的通風狀態(tài),在風管清洗時(包括槽、罐內(nèi)清洗)應具有良好的通風方可施工?!?br /> 4作業(yè)過程 
(1)風管及部件的清洗一般采用以下順序?!?br /> 檢查涂交密封是否合格,如不合格應補涂,直至合格?!?br /> 用半于濕抹布擦拭外表面?!?br /> 用潔凈半干擦布擦拭內(nèi)表面浮塵?!?br /> 用三氯乙烯或經(jīng)稀釋的乙醇、活性清洗劑擦拭內(nèi)表面,去掉所有的油層、油漬。 
將擦凈的產(chǎn)品進行干燥處理(風干或吹干)?!?br /> 用白綢布檢查內(nèi)表面清洗質量,白綢布揩擦不留任何灰跡、油漬即為清洗合格?!?br /> 立即將產(chǎn)品兩端用塑料薄膜及粘膠帶(50mm寬)進行封閉保護,防止外界不凈空氣滲入,嚴禁使用捆扎方法草草了事。 
(2)專業(yè)技術人員應根據(jù)空氣潔凈度等級采用的清洗劑、清洗部位等要求向操作人員進行技術交底,對第一次進廠進行該工序操作人員進行培訓?!?br /> (3)風管清洗后,管內(nèi)應無油漬、灰跡,應以白綢布深入管內(nèi)擦拭,綢布雪白無油漬、灰跡為合格。
5成品保護 
(1)凡清洗后的產(chǎn)品,兩端應用塑料薄膜進行封閉保護,工作需要揭開保護膜,在操作后應立即恢復密封,非工作需要不得擅自揭開保護膜?!?br /> (2)保護膜遭破壞應及時修復,保證管內(nèi)潔凈度,否則應重新清洗,重新密封處理?!?br /> (3)凡經(jīng)檢查合格應加檢驗合格標志,并妥善存放保管,防止混用。存放場地應清掃干凈,鋪設橡膠板加以保護。

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